科豐國際有限公司 MAST Technology Corp

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半導體與光電

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Creative Design Engineering (CDE)		自動四點探針阻值量測系統	CDE 提供自動電腦量測的四點探針阻值量測機台。快速，精確與軟體控制下針、軟體功能可最佳化下針壓力，即使薄片量測也不易破裂。自動清針(Probe Conditioning)動作，雙針頭切換。太陽能使用可支援自動Loader，300mm 機台可使用Front End，最多擴充3個量測單元，支援Semi標準介面。
Jandel Inc		手動式四點探針阻值量測系統	Jandel 是40年的四點探針針頭製造商，提供給9成以上的四點探針製造商使用。Jandel 同時也提供各式手動式四點探針機台給各種不同的應用領域使用，如研發，半導體與太陽能。
LPE		碳化矽磊晶反應器Silicon Carbide Epitaxial Reactor	LPE有30年製造Epi reactor的經驗的公司，reactor適用於嚴格的應用，如PowerMos、Discret、IGBT、和其他特別器件。Batch Type的品質如同單片的品質；COST如同Batch Type的費用。
Semiconsoft		薄膜厚度量測系統;反射光譜儀;膜厚儀(Spectroscopic Reflectometer System)	針對Oxides,Nitrides, Photoresists, Polymers, Semiconductors (Si, aSi, polySi), Compound Semiconductors (AlGaAs, InGaAs, CdTe,CIGS),Hard coatings (SiC, DLC), Polymer coatings (Paralene, PMMA, Polyamides), thin metal films的膜厚量測。
MicroSense (Sigmatech Division)		晶圓/材料厚度彎曲度量測系統	Sigmatech 使用專有技術:背壓 APBP (Auto Positioning Back Pressure) 進行晶片或材料的厚度、彎曲度量測。近年發展的白光光學WLCS (White Light Chromatic Sensing)可以更快、更高精度的量測產出。新技術的IR，可用在TAPE量測上。機台可結合三種技術在同一機台上，應用:半導體封裝、晶片製造、太陽能晶片製造、特殊晶片製造等。
TankeBlue		碳化矽單晶拉晶爐	Tanke Blue天科合達藍光半導體公司，使用其專有技術近年來發展碳化矽拉單晶技術，獲得突破性發展，並於數年前導入量產，目前已成功導入2~4吋單晶碳化矽晶圓，獲得客戶的產品使用的驗證。天科合達目前將以其成功的經驗，輸出碳化矽爐子與其技術支援，協助客戶生產碳化矽單晶，細節請與本公司聯絡。